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[发明专利]抗等离子体腐蚀的复合涂层及制备方法-CN201910773757.7在审
发明人：杨佐东 -专利权人：重庆臻宝实业有限公司
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： C23C4/134 文献下载
摘要：本发明公开了一种抗等离子体腐蚀的复合涂层及其制备方法，包括N层氧化铝/氧化钇涂层，其中N为大于等于2的整数，上一层的氧化铝/氧化钇涂层自粘结在下一层的氧化铝/氧化钇涂层上，本发明的氧化铝/氧化钇涂层可作为于半导体和微电子制造中刻蚀机等离子体反应室铝质零件防护涂层，多层涂层内的氧化钇含量呈增大趋势，通过这种梯度设置，在有效保证其与纯氧化钇涂层具有相当的抗腐蚀效果的同时，极大地减少了氧化钇的使用量，更经济。
氧化钇涂层氧化铝等离子体腐蚀复合涂层氧化钇制备等离子体反应室微电子制造纯氧化钇多层涂层防护涂层铝质零件梯度设置抗腐蚀刻蚀机自粘结半导体保证

[发明专利]半导体材料加工设备中的氧化钇涂覆的陶瓷部件及该部件的制造方法-CN200480040756.3有效
发明人： C·常 -专利权人：兰姆研究公司
申请日： 2004-12-09 - 公布日： 2007-01-31 - 主分类号： B32B9/04 文献下载
摘要：半导体材料加工设备中的氧化钇涂覆的陶瓷部件，包括衬底和衬底上的至少一层含有氧化钇的涂层。这些部件这样制造，将第一含氧化钇的涂层施用在陶瓷衬底上，该衬底可以是陶瓷材料生坯。将涂覆的生坯烧结。对该第一含氧化钇的涂层进行处理，去除因烧结而产生的附着的氧化钇颗粒。在另一个实施方案中，可以在第一含氧化钇的涂层上热喷涂第二含氧化钇的涂层，以覆盖这些颗粒。
半导体材料加工设备中的氧化钇陶瓷部件制造方法

[发明专利]一种半导体设备陶瓷窗氧化钇涂层清洗方法-CN202111586368.7在审
发明人：汤高;贺贤汉;杨炜;张正伟;蒋立峰 -专利权人：上海富乐德智能科技发展有限公司
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体设备陶瓷窗氧化钇涂层清洗方法，包括有机溶液浸泡、双氧水溶液浸泡、旋转打磨、氨水双氧水溶液浸泡、氟酸双氧水溶液擦拭、无尘烘箱烘干六道工序。有机溶剂和双氧水浸泡用于氧化和疏松氧化钇涂层表面的沉积膜层和颗粒物；旋转打磨用于去除表面绝大部分的沉积物；氨水双氧水溶液和氟酸双氧水溶液对陶瓷窗氧化钇涂层表面残余的微量污染物颗粒有较好的刻蚀效果，轻微刻蚀有助于平整氧化钇涂层表面，获得光亮洁净的氧化钇涂层新表面。通过该方法，能去除陶瓷窗氧化钇涂层表面的沉积膜层和污染物颗粒，如硅聚合物，氟氧化钇等，满足陶瓷窗氧化钇涂层洗净要求。
一种半导体设备陶瓷氧化钇涂层清洗方法

[发明专利]一种钇/氧化钇复合阻氢涂层-CN201911399257.8在审
发明人：李帅;李世杰;于庆河;米菁;杜淼;郝雷 -专利权人：有研工程技术研究院有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种钇/氧化钇复合阻氢涂层，该阻氢涂层为形成在金属基体上的组成为x Y‑(1‑x)Y2O3的单层涂层，其中该阻氢涂层采用物理气相沉积法制备，优选采用磁控溅射法制备，通过同时溅射钇靶和氧化钇靶而获得所述阻氢涂层。本发明的钇/氧化钇复合阻氢涂层与金属基体的结合为金属‑金属结合，其结合强度高；较金属钇层热膨胀系数更低，降低了与表层氧化钇薄膜之间的热膨胀失配，提高了阻氢涂层的抗冷热冲击性能；在表面氧化钇薄膜破损情况下，可原位生成新的氧化钇膜层。
一种氧化钇复合涂层

[发明专利]一种氧化钇热障涂层的制备方法-CN202110972192.2在审
发明人：翁国庆;陈建波;蒋美良 -专利权人：湖南威斯康新材料科技有限公司
申请日： 2021-08-24 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： C23C4/11 文献下载
摘要：本发明公开了一种氧化钇热障涂层的制备方法，属于稀土氧化物涂层技术领域，包括氧化钇原料的制备、基体预处理、大气等离子喷涂、涂层后处理四个步骤，制备得到的氧化钇热障涂层具有纯度高、结合强度高、耐热性能好的优点
一种氧化钇热障涂层制备方法

[发明专利]含有氟化氧化钇及金属氧化物的涂层以及制备及使用所述涂层的方法-CN202110776379.5在审
发明人： C·瓦尔德弗里德;S·隆戈 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2021-07-09 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： C23C16/40 文献下载
摘要：本申请案涉及含有氟化氧化钇及金属氧化物的涂层以及制备及使用所述涂层的方法。本发明描述含有氟化氧化钇及金属氧化物的涂层；制备这些涂层的方法；包含含有氟化氧化钇与金属氧化物的组合的涂层的衬底、表面、设备及设备组件；以及制备及使用所述涂层及经涂覆衬底的方法。
含有氟化氧化钇金属氧化物涂层以及制备使用方法

[发明专利]一种耐腐蚀涂层及其制备方法-CN201910386092.4有效
发明人：白秋云 -专利权人：成都超纯应用材料有限责任公司
申请日： 2019-05-09 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种耐腐蚀涂层及其制备方法，包括至少一层多孔氧化钇膜层和至少一层致密氧化钇膜层，所述多孔氧化钇膜层和所述致密氧化钇膜层叠覆设置，其中，至少一所述多孔氧化钇膜层涂覆于工件表面，至少一所述致密氧化钇膜层位于所述耐腐蚀涂层的最外层，采用气相沉积法，氧化钇为靶材，以镀膜速度5‑10微米/小时，在工件的表面制备多孔氧化钇膜层；在通氧速度V：0V5L/min的条件下，以镀膜速度1‑2微米/小时，在多孔氧化钇膜层的表面制备致密氧化钇膜层将本发明的耐腐蚀层镀覆在材质为氧化铝、铝以及其他的材质的工件表面。多孔结构的氧化钇膜层作为过渡层，为热应力的释放提供空间，缓解热应力的集聚，避免耐腐蚀层开裂。
一种腐蚀涂层及其制备方法

[实用新型]一种高强高导稀土铜合金电磁线-CN201320540744.3有效
发明人：刘峰;刘海清 -专利权人：汨罗市联达铜铝材有限公司
申请日： 2013-09-02 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： H01B12/04 文献下载
摘要：一种高强高导稀土铜合金电磁线，包括铜合金中心体、纳米氧化镍涂层、纳米氧化钇涂层、纳米氧化铝涂层和纳米碳涂层，所述铜合金中心体外部包裹有纳米氧化镍涂层，所述纳米氧化镍涂层外部包裹有纳米氧化钇涂层，所述纳米氧化钇涂层外部包裹有纳米氧化铝涂层，所述纳米氧化铝涂层外部包裹有纳米碳涂层，本实用新型采用纳米材料，铜合金制备成多边形，具有高强度和高导热性。
一种高强稀土铜合金电磁线

[发明专利]一种多层热障涂层及其制备方法和应用-CN202210166039.5在审
发明人：郭明虎 -专利权人：中国航发商用航空发动机有限责任公司
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种多层热障涂层及其制备方法和应用。该多层热障涂层包括：依次形成在基材上的粘结层，第一热障涂层和第二热障涂层；其中，第一热障涂层和第二热障涂层分别由氧化钇稳定的氧化锆组成；第一热障涂层中氧化钇的含量为Y1wt％，wt％是指氧化钇占第一热障涂层的质量百分比；第二热障涂层中氧化钇的含量为Y2wt％，wt％是指氧化钇占第二热障涂层的质量百分比；(Y2wt％‑Y1wt％)≥12wt％；粘结层、第一热障涂层和第二热障涂层采用电子束物理气相沉积法和/或等离子喷涂法得到本发明中的多层热障涂层，能够有效防止低熔点氧化物深入热障涂层中，优化耐热性能，从而显著提高了使用温度和使用寿命。
一种多层热障涂层及其制备方法应用

[发明专利]一种氧化钇磨珠的制备方法-CN202110972228.7有效
发明人：陈建波;翁国庆 -专利权人：湖南威斯康新材料科技有限公司
申请日： 2021-08-24 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： C09K3/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种氧化钇磨珠的制备方法，属于稀土氧化物制备技术领域，包括氧化钇前驱体的制备、喷雾造粒、滚制成型、烧结抛光四个步骤，该方法制备的氧化钇磨珠用于氧化钇浆料球磨工序，杜绝其他杂质的污染，保证氧化钇喷涂粉的纯度，喷涂后的涂层具有优良的耐等离子腐蚀性能。
一种氧化钇制备方法

[发明专利]一种IC装备关键零部件用高纯氧化钇涂层的制备方法-CN201510676326.0有效
发明人：熊天英;沈艳芳;杨阳;宋婉;冯博;吴杰;吴中泽;侯涛;李茂程;刘伟杰;郁忠杰;唐伟东 -专利权人：沈阳富创精密设备有限公司
申请日： 2015-10-15 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： C23C24/04 文献下载
摘要：本发明涉及冷喷涂制备陶瓷涂层领域，特别是一种IC装备关键零部件用高纯氧化钇涂层的制备方法。该方法主要包括以下操作步骤：(1)零件无涂层区域的防护；(2)零件喷涂区域的表面预处理；(3)采用高纯氧化钇粉末，纯度≥99.9wt％、平均粒度为2～50μm；(4)采用低压冷喷涂系统进行快速喷涂，获得高纯氧化钇涂层相比于传统的热喷涂，冷喷涂能够有效地减少和降低对基体的热输入，因此，适宜于在铝及铝合金等IC装备用关键零部件表面喷涂涂层。本发明采用的冷喷涂方法，其喷涂温度仅为100～1000℃，远远低于等离子喷涂所需的温度(即氧化钇的熔点温度2410℃以上)；冷喷涂制备的氧化钇涂层质量稳定、厚度均匀。
氧化钇涂层冷喷涂高纯关键零部件制备熔点制备陶瓷涂层表面预处理等离子喷涂低压冷喷涂无涂层区域氧化钇粉末有效地减少表面喷涂厚度均匀快速喷涂喷涂区域平均粒度质量稳定传统的铝合金热喷涂热输入氧化钇喷涂防护

[发明专利]一种低孔隙率氧化钇涂层的制备方法-CN202111321636.2在审
发明人：余宜璠;陈立航;梁福坤;肖金;杨佐东 -专利权人：重庆臻宝实业有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： C23C4/134 文献下载
摘要：本发明涉及一种低孔隙率氧化钇涂层的制备方法，属于等离子喷涂技术领域。以本发明方法制备的氧化钇涂层中含有较Y2O3熔点低的Y4Al2O3粉末更易熔融而填充到Y2O3涂层孔隙中；将耐离子腐蚀能力强的环氧树脂和硅树脂制备成树脂混合液涂布于氧化钇涂层表面，经烘烤使树脂混合液渗透到氧化钇涂层孔隙中，通过降低氧化钇涂层孔隙率从而提升氧化钇涂层的耐离子腐蚀能力。
一种孔隙率氧化钇涂层制备方法

[发明专利]一种氧化钇稳定氧化锆中残余氧化钇的定量分析方法-CN202111570902.5在审
发明人：曹学强;袁洁燕;王进双;蒋佳宁;邓龙辉;曹沁;刘俐;董淑娟 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： G01N5/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种氧化钇稳定氧化锆中残余氧化钇的定量分析方法，通过将HCl与H3PO4的混合溶液加入氧化钇稳定氧化锆粉末中进行保温反应等处理，实现氧化钇稳定氧化锆粉末中残余氧化钇含量的定量分析。本发明上述分析方法可从原材料方面控制氧化钇稳定氧化锆的质量，对于提升航空、航天和舰船发动机的氧化钇稳定氧化锆热障涂层以及氧化钇稳定氧化锆生物陶瓷的稳定性有重要作用；涉及的分析方法简单、操作方便、准确度较高
一种氧化钇稳定氧化锆残余定量分析方法

[发明专利]一种形成于金属部件表面的阻尼涂层及其制备方法-CN201711342671.6在审
发明人：杜广煜;巴德纯;李国浩 -专利权人：东北大学
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明属于金属材料表面涂层领域，尤其涉及一种形成于金属部件表面的阻尼涂层及其制备方法。本发明的阻尼涂层由均匀混合的氧化钇稳定氧化锆和氧化钇沉积于金属部件的表面形成；制备方法，包括步骤：1)阻尼材料配制：将质量百分含量为85％‑92％的氧化钇稳定氧化锆(YSZ)和质量百分含量为8％‑15％的氧化钇混合均匀配置成阻尼涂料，2)阻尼涂层：采用物理气相沉积的方法在金属部件表面上进行阻尼涂层。采用本发明制备出的阻尼涂层具有强度高、不易老化、不易开裂和不易剥落的特点，同时，具有该阻尼涂层的金属部件的动刚度增大、抗震能力增强并且可有效地降低金属部件的振动水平。
阻尼涂层制备金属部件表面金属部件氧化钇稳定氧化锆氧化钇金属材料表面物理气相沉积表面形成抗震能力涂层领域振动水平阻尼材料阻尼涂料动刚度有效地剥落沉积配制老化配置

[发明专利]一种防止边界脱落的等离子体喷涂氧化钇涂层制备方法-CN201811440874.3在审
发明人：王嘉雨;郑广文;郁忠杰;徐俊阳;李加 -专利权人：沈阳富创精密设备有限公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： C23C4/134 文献下载
摘要：本发明涉及一种防止边界脱落的等离子体喷涂氧化钇涂层制备方法，该技术使用大气等离子体喷涂设备进行制备。制备方法为：(1)将所需喷涂的零件表面整体进行喷砂处理；(2)对零件边界以外区域进行遮蔽；(3)对零件边界区域进行硬质阳极化涂层处理；(4)对零件整体区域进行大气等离子体氧化钇涂层制备。该方法获得的氧化钇涂层具有高硬度，高致密性，高抗拉伸性，耐腐蚀及抗电压性均有很优异的性能指标，氧化钇涂层边界也有很好的结合力，不会发生脱落现象。
氧化钇涂层制备等离子体喷涂零件边界大气等离子体喷涂大气等离子体高抗拉伸性硬质阳极化高致密性技术使用零件表面喷砂处理涂层处理整体区域高硬度结合力耐腐蚀喷涂遮蔽

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